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產(chǎn)品型號：MKS MultiGas 6030廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商 更新日期：2026-01-04訪 問 量：7302 產(chǎn)品分類
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TECHNICAL ARTICLES詳細(xì)介紹
MKS MultiGas 6030傅里葉變換紅外氣體分析儀是以傅利葉變換紅外為基礎(chǔ)的多氣體光譜 分析儀。其具有ppb到ppm靈敏度。廣泛用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝控制和監(jiān)控，氣體純度和組成分 析，環(huán)境有毒有害氣體監(jiān)視和工業(yè)尾氣監(jiān)視。MultiGas 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀能分析含有高達(dá)40%水的氣流，能同時分析和顯示多達(dá)30種氣體。分析儀儲存了校準(zhǔn)光譜，故省出了氣體筒的成本。另外，操作者也會發(fā)現(xiàn)MKS MultiGas 6030傅里葉變換紅外氣體分析儀操作簡便，易于維護(hù)。 MultiGas 6030由保護(hù)的2102傅利葉變換紅外制成分光計， 高光通量取樣單元，分析軟件及獨(dú)立的定量光譜庫組成。MultiGas 6030收集高分辨率 的紅外光譜與定量光譜庫分析，提供絕大多數(shù)氣體及水蒸氣的高精度，高靈敏度測量。
特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)
? 10ppb-靈敏度對于絕大多數(shù)有毒有害氣體
? 易于移動從一處移到另一處，設(shè)置僅需幾分鐘
? 同時分析和顯示多達(dá)30種氣體
? 分析儀儲存了校準(zhǔn)光譜，省去了氣體筒的成本
? 取樣氣體在進(jìn)入分析室前加熱并維持恒定溫度
? 保護(hù)的線性檢測器，確保所有分析儀維持在相同的校準(zhǔn)條件下
? 頻率和分辨率診斷，確保校準(zhǔn)恒定
? 提供自動溫度和壓力補(bǔ)償以確保分析精度
? 用戶操作簡便軟件界面，稍加培訓(xùn)即可操作
應(yīng)用
? 煙囪監(jiān)測器
? 工藝監(jiān)測改進(jìn)和優(yōu)化
? 空氣環(huán)境分析
? 氣體純度分析
? 燃燒排放監(jiān)測
? 選擇性硅整流催化還原性能監(jiān)測
規(guī)格
分析儀主機(jī)
分析儀采樣參數(shù)
分析儀氣體室
檢測極限
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